美國SVT RF/射頻等離子源

更新時間：2024-11-28

產品型號：2.75/4.5“/6.0''

廠商性質：經銷商

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產品特點：美國SVT RF/射頻等離子源產品簡介：
美國SVT公司的RF等離子源適用于多個公司多種型號。
法蘭接口包括： 2.75''、4.5''、6''。
等離子源用于離解雙原子氮、氧和氫。離解過程中不會產生高能離子。
產生的束流含有零離子，有助于生長高質量的薄膜，也可以在不損傷襯底表面的情況下清洗襯底。

產品詳情

美國SVT RF/射頻等離子源適用于多個公司多種型號

法蘭接口包括： 2.75''、4.5''、6''。

等離子源用于離解雙原子氮、氧和氫。離解過程中不會產生高能離子。

產生的束流含有零離子，有助于生長高質量的薄膜，也可以在不損傷襯底表面的情況下清洗襯底。

高生長率等離子體源能夠在生長速率大于4μm/hr的情況下生長高質量的薄膜。

光闌和等離子腔形狀可以顧客定制，以滿足客戶對不同流量的需求。

軟件作為可選項，能夠實現自動操作，允許用戶保存數據，編寫工藝程序。

美國SVT RF/射頻等離子源特點

可提供N2、O2、H2等離子源

生長速率大于4μm/hr

源設計有等離子體觀察窗口

光闌和等離子腔形狀可以客戶定制

RF自動調節可選

RF 功率	200-600W
氣體流量	0.1-10SCCM
法蘭	4.50’’ CF
源直徑	2.35’’
水冷卻	0.17GPM 流量(0.227m3/hr)
RF匹配網絡	手動調節(自動調節可選)
等離子腔	PBN，氧化鋁，石英

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