電磁驅動的運動精度

    由于電磁驅動臺的驅動是以磁場為介質的，因此磁場的分析和設計是電磁微動臺整體結構設計的前提。盡管目前學者已經對磁場分析、電磁力計算等重要問題進行了相關研究，但是還未形成一套完整的電磁微動臺磁場分析和設計的理論。特別是對邊端效應、局部飽和、推力波動等影響定位性能的重要因素，以及如何實現長行程、大推力和高響應等問題都值得深入研究。微動臺的結構是電磁驅動單元和位置檢測單元安裝的主體，是微動臺穩定工作的基礎。現有的電磁微動臺在設計上雖然也以質量輕、結構緊湊、工藝性好和便于控制等為設計準則，但在如何保證質心驅動，散熱和減少磁力耦合等方面考慮不夠，因此鑒于上述方面設計更加合理和新穎的結構是提高工作臺性能的重要途徑之一。電磁式微動臺除了本身結構之外，其定位精度和響應速度，主要是靠控制系統來完成的。現今的電磁力的控制系統大多基于電流控制模式，在這種控制模式中忽略了線圈電感對電流變化的抑制作用，若線圈中電流的變化過于劇烈時，系統中實際電流與參考電流之間將出現較大誤差，影響定位精度。因此，為獲得高性能的電磁力控制系統，必須從電磁力的電壓方程出發建立更能準確體現微動臺電磁特性的數學模型，以設計電磁微動臺的控制系統。除此之外，可充分借鑒其他的控制原理和方法，如矢量控制理論、推力脈動抑制方法等。